Стол линейных перемещений LTA10
Прецизионная точность позиционирования. Большая свободная апертура конструкции. Повышенная жесткость конструкции. Надежное решение для систем сканирующей микрооптики.
Стол на линейных двигателях является надежным решением для систем микрооптики. В отличие от обычных конструкций, выполненных из множества отдельных элементов, стол конструктивно выполнен из 3-х плит, что позволяет получить высокую точность, ортогональность и плоскостность. Линейные двигатели обеспечивают высокую точность при высокой динамике перемещений, при этом, сохраняя низкий профиль конструкции. Дискретность датчиков положения до 100нм обеспечивает высокую точность позиционирования и жесткость привода.
Большая свободная апертура делает конструкцию стола максимально удобной для применения в системах сканирующей микроскопии, в системах контроля подложек микросхем и печатных плат, автоматизированных сборочных систем и лазерных установках.
- Прецизионная точность позиционирования
- Большая свободная апертура
- Исполнение на механических или аэростатических направляющих
- Длина хода от 100х100мм до 500х500мм
- Жесткая конструкция из 3-х плит
Модель |
MT100 |
MT200 |
MT300 |
MT500 |
Длина ходов |
100 |
200 |
300 |
500 |
Привод |
Линейный безколлекторный серводвигатель |
|||
Датчик положения |
Линейный оптический |
|||
Дискретность |
До 100нм |
|||
Максимальная скорость перемещения |
До 1000мм/с |
|||
Максимальная нагрузка предметного стола |
До 100кг |
|||
Длительное усилие |
До 300Н |
|||
Пиковое усилие |
До 1100Н |
|||
Точность |
До ±1мкм |
|||
Повторяемость |
До ±100нм |
|||
Области применения:
Машиностроение, приборостроение, электроника, медицина, полиграфия, станкостроение